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少子寿命：≥100us
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电阻率：0.4-1.1Ω.cm
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碳含量：≤0.5×1017atoms/cm3
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氧含量：≤7.5×1017atoms/cm3
材料特性
| 项目 | 规格 | 检测方法 |
|---|---|---|
| 生长方式 | CZ | / |
| 晶体晶向 | ＜100＞±3° | X射线衍射定向法 |
| 导电类型 | P型 | P/N型测试仪 |
| 位错密度/cm² | ≤500 | X射线衍射仪（ASTM F26-1987） |
| 项目 | 生长方式 | |
| 规格 | CZ | |
| 检测方法 | / | |
| 项目 | 晶体晶向 | |
| 规格 | ＜100＞±3° | |
| 检测方法 | X射线衍射定向法 | |
| 项目 | 导电类型 | |
| 规格 | P型 | |
| 检测方法 | P/N型测试仪 | |
| 项目 | 位错密度/cm² | |
| 规格 | ≤500 | |
| 检测方法 | X射线衍射仪（ASTM F26-1987） |
电性能
| 项目 | 规格 | 检测方法 |
|---|---|---|
| 氧含量 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | 傅里叶变换红外光谱仪 |
| 碳含量 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | 傅里叶变换红外光谱仪 |
| 电阻率 | 0.4-1.1Ω.cm | 硅片自动检测设备 |
| 少子寿命 | ≥100us | Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3) |
| 项目 | 氧含量 | |
| 规格 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | |
| 检测方法 | 傅里叶变换红外光谱仪 | |
| 项目 | 碳含量 | |
| 规格 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | |
| 检测方法 | 傅里叶变换红外光谱仪 | |
| 项目 | 电阻率 | |
| 规格 | 0.4-1.1Ω.cm | |
| 检测方法 | 硅片自动检测设备 | |
| 项目 | 少子寿命 | |
| 规格 | ≥100us | |
| 检测方法 | Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3) |