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N型硅片

  • 成熟工艺，N型高效技术

  • 先进设备，推进降本增效

  • 6S精益管理，锻造卓越品质

  • 大尺寸，薄片化，低硅耗，高效率、可定制

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项目 生长方式
规格 CZ
检测方法 /
项目 晶体晶向
规格 ＜100＞±3°
检测方法 X射线衍射定向法
项目 导电类型
规格 N型
检测方法 P/N型测试仪
项目 位错密度/cm²
规格 ≤500
检测方法 X射线衍射仪（ASTM F26-1987）
项目 氧含量
规格 ≤6.0×1017atoms/cm3
检测方法 傅里叶变换红外光谱仪
项目 碳含量
规格 ≤0.5×1017atoms/cm3
检测方法 傅里叶变换红外光谱仪
项目 电阻率
规格 0.3-2.1Ω.cm
检测方法 硅片自动检测设备
项目 少子寿命
规格 ≥1000us
检测方法 Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3)